國(guó)產(chǎn)高精度源表S3012H助力半導(dǎo)體行業(yè)測(cè)試
臺(tái)式源表S3012H經(jīng)濟(jì)高效單通道高精度源表，標(biāo)準(zhǔn)半機(jī)架寬度，豐富的液晶屏操作界面，成為各種高精度高分辨率測(cè)試任務(wù)的理想選擇。
S3012H高精度源表特點(diǎn)：
高量程-量程：±200 V、±3 A（直流）、±10A（脈沖）
高分辨率-*小測(cè)量分辨率可達(dá)100fA/100nV
高采樣率-*高可支持1M的ADC采樣率
硬件同步-單機(jī)多機(jī)同步，純硬件高速同步，可現(xiàn)實(shí)多通道低時(shí)延同步
S3012H高精度源表功能與優(yōu)勢(shì)：
5功能于一身：電壓源 電流源 電流表 電壓表 電子負(fù)載
、
三象限為源：輸出V/I的實(shí)際極性跟隨源設(shè)定；四象限為負(fù)載：CC和CV配合，當(dāng)負(fù)載用時(shí)，負(fù)載設(shè)定極性與源極性相反；
可測(cè)試各種設(shè)備
捕獲更多的測(cè)量數(shù)據(jù)
? 6 位半的數(shù)字分辨率: 精度相當(dāng)于6 位半數(shù)字萬(wàn)用表；
? 100 fA / 100 nV分辨率: 設(shè)置與測(cè)量 優(yōu)良的靈敏度；
? 1M點(diǎn)/秒: 提供高速測(cè)量，可以快速設(shè)置/數(shù)字化率于任意波形發(fā)生器/列表掃描；
豐富的掃描功能
S3012H高精度源表產(chǎn)品指標(biāo)：
工作條件
溫度 23 °C ± 5 °C，
濕度 30% 至 70% 相對(duì)濕度
預(yù)熱 60 分鐘后測(cè)量，測(cè)量時(shí)環(huán)境溫度變化小于± 3 °C
校準(zhǔn)周期 1 年
測(cè)量速度 1PLC
電壓源指標(biāo)
|
電壓設(shè)置精度
|
量程
|
設(shè)置分辨率
|
精度(1 年)±(%讀數(shù)+ 偏置)
|
典型噪聲(有效值)0.1 Hz-10Hz
|
|
±200 V
|
1mV
|
0.02%+40 mV
|
600 μV
|
|
±20 V
|
100 μV
|
0.02%+5 mV
|
100 μV
|
|
±6 V
|
10 μV
|
0.02%+500 μV
|
4 μV
|
|
±200 mV
|
1 uV
|
0.02%+200 μV
|
2 μV
|
|
溫度系數(shù)
|
±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
|
|
單通道*大輸出功率
|
30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A
|
|
設(shè)置時(shí)間
|
<800uS (典型值)
|
|
過沖
|
<±0.1% (典型值，Normal,步進(jìn)是范圍的 10% 至 90%，滿量程點(diǎn)，電阻性負(fù)載測(cè)試)
|
|
噪聲 10Hz-20MHz
|
6V 電壓源，3A 電阻負(fù)載，<3mV RMS
|
電流源指標(biāo)
|
電流設(shè)置精度
|
量程
|
設(shè)置分辨率
|
精度(1 年)±(% 讀數(shù)+偏置)
|
典型噪聲(有效值)0.1 Hz-10Hz
|
|
±10 A1
|
50 μA
|
0.4% + 40 mA
|
NA
|
|
±3 A
|
20 μA
|
0.05% + 5 mA
|
10 μA
|
|
±1.5A
|
5 μA
|
0.02% + 500 μA
|
3 μA
|
|
±150 mA
|
500 nA
|
0.02% + 25 μA
|
800 nA
|
|
±15 mA
|
50 nA
|
0.02% + 2.5 μA
|
100 nA
|
|
±1.5 mA
|
5 nA
|
0.02% + 150 nA
|
20 nA
|
|
±150 μA
|
500 pA
|
0.02% + 25 nA
|
200 pA
|
|
±15 μA
|
50 pA
|
0.02% + 3 nA
|
75 pA
|
|
±1.5 μA
|
5 pA
|
0.03% + 600 pA
|
50 pA
|
|
±150 nA
|
500 fA
|
0.05% + 300 pA
|
10 pA
|
|
溫度系數(shù)
|
±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
|
|
單通道*大輸出功率
|
30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A
|
|
設(shè)置時(shí)間
|
<500us (典型值)
|
|
過沖
|
<±0.1% (典型值，Normal,步進(jìn)是范圍的 10% 至 90%，滿量程點(diǎn)，電阻性負(fù)載測(cè)試)
|
1，10A 量程僅支持脈沖模式,精度為典型值
電壓表指標(biāo)
|
電壓測(cè)量精度
|
量程
|
顯示分辨率
|
精度(1 年) ±(% 讀數(shù)+偏置)
|
|
±200 V
|
100 μV
|
0.02% + 40 mV
|
|
±20 V
|
10 uV
|
0.02% + 5 mV
|
|
±6 V
|
1 uV
|
0.02% + 500 uV
|
|
±200mV
|
100 nV
|
0.02% + 200 μV
|
|
溫度系數(shù)
|
±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
|
電流表指標(biāo)
|
電流測(cè)量精度
|
量程
|
顯示分辨率
|
精度(1 年) ±(% 讀數(shù)+偏置)
|
|
±10 A1
|
10 μA
|
0.4% + 25 mA
|
|
±3 A
|
10 μA
|
0.05% + 5 mA
|
|
±1.5A
|
1 μA
|
0.02% + 500 μA
|
|
±150 mA
|
100 nA
|
0.02% + 25 μA
|
|
±15 mA
|
10 nA
|
0.02% +2 μA
|
|
±1.5 mA
|
1 nA
|
0.02% + 150 nA
|
|
±150 μA
|
100 pA
|
0.02% + 20 nA
|
|
±15 μA
|
10 pA
|
0.02% +3 nA
|
|
±1.5 μA2
|
1 pA
|
0.03% + 600 pA
|
|
±150 nA2
|
100fA
|
0.05% + 300 pA
|
|
溫度系數(shù)
|
±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
|
1，10A量程僅支持脈沖模式,精度為典型值
2，小電流測(cè)量，建議使用三同軸線纜連接 Force Hi接芯線，Guard接內(nèi)屏蔽層，外屏蔽層接保護(hù)地，F(xiàn)orce Lo接芯線，內(nèi)屏蔽層不接，外屏
蔽層接保護(hù)地，同軸線的額定絕緣電壓不小于250V。
電阻表指標(biāo)（4 線）
|
電阻測(cè)量精度
|
量程
|
顯示分辨率
|
默認(rèn)測(cè)量電流
|
典型精度(1 年)
±(% 讀數(shù)+偏置)
|
|
1 Ω
|
1 uΩ
|
1 A
|
0.09% + 0.5 mΩ
|
|
10 Ω
|
10 uΩ
|
100 mA
|
0.065% + 5 mΩ
|
|
100 Ω
|
100 uΩ
|
10 mA
|
0.065% + 50 mΩ
|
|
1 KΩ
|
1 mΩ
|
1 mA
|
0.055% + 500 mΩ
|
|
10 KΩ
|
10 mΩ
|
100 uA
|
0.065% + 5 Ω
|
|
100 KΩ
|
100 mΩ
|
10 uA
|
0.07% + 50 Ω
|
|
1 MΩ
|
1 Ω
|
1 uA
|
0.05% + 500 Ω
|
|
10 MΩ
|
10 Ω
|
0.1 uA
|
0.65% + 5KΩ
|
|
100 MΩ
|
100 Ω
|
0.05 uA
|
1.27% + 10 KΩ
|
|
溫度系數(shù)
|
±(0.15 × 精度指標(biāo))/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
|
|
手動(dòng)電流源電阻測(cè)量（四線）
|
總體誤差 = 測(cè)量電壓/電流源設(shè)定電流 = 電阻讀數(shù) x (電壓源量程的增益誤差百分比 + 電流表量程的增益誤差百分比 + 電流源量程偏置誤差/設(shè)定電流) + (電壓源量程偏置誤差/設(shè)定電流值)
示例：電流源設(shè)定電流=1A 電壓測(cè)量量程=6V
總體誤差=（0.02%+0.02%+500uA/1A）+(500uV/1A)
=0.09%+0.5mΩ
|
脈沖源指標(biāo)（4線）
|
*小可編程脈寬
|
100μs
|
|
脈寬編程分辨率
|
1μs
|
|
脈寬編程精度
|
±10μs
|
|
脈寬抖動(dòng)
|
2μs
|
|
脈沖寬度定義
|
如下圖所示，從 10 % 前沿到 90 % 后沿的時(shí)間
|
|
脈沖技術(shù)指標(biāo)
|
*大電流限制
|
*大脈沖寬度
|
*大占空比
|
|
1
|
0.15A/200V
|
DC,無(wú)限制
|
100%
|
|
2
|
1.5A/20V
|
DC,無(wú)限制
|
100%
|
|
3
|
3A/6V
|
DC,無(wú)限制
|
100%
|
|
4
|
3A/20V
|
1mS
|
10%
|
|
5
|
10A/6V
|
1mS
|
10%
|
脈沖源上升時(shí)間（4 線）
|
輸出
|
量程
|
典型上升時(shí)間 1,3
|
典型穩(wěn)定時(shí)間 2,3
|
測(cè)試負(fù)載
|
|
電壓源
|
200 V
|
600 μS
|
1.5 mS
|
空載
|
|
20 V
|
200 μS
|
360 μS
|
空載
|
|
6 V
|
160 μS
|
300 μS
|
空載
|
|
電流源
|
10 A
|
140 μS
|
320 μS
|
滿載
|
|
3 A
|
120 μS
|
280 μS
|
滿載
|
|
1.5 A
|
120 μS
|
280 μS
|
滿載
|
|
150 mA
|
120 μS
|
280 μS
|
滿載
|
|
15 mA
|
120 μS
|
280 μS
|
滿載
|
|
1.5 mA
|
120 μS
|
280 μS
|
滿載
|
1, 脈沖前沿從 10%到 90% 所需的時(shí)間。
2，脈沖達(dá)到距離*終值 1%的所需的時(shí)間。
3, 電流源測(cè)試基于 6V 電壓量程下測(cè)試，105%滿量程鉗位設(shè)定。
I-V 輸出能力
輸出建立時(shí)間
|
輸出
|
量程
|
典型輸出建立時(shí)間
|
測(cè)試條件
|
|
Fast 1,2
|
Normal 1
|
Slow1
|
|
電壓源
|
200V
|
<1.3mS
|
<1.5mS
|
<2.5ms
|
在開路負(fù)載條件下，達(dá)到距離*終值 0.1% 以內(nèi)所需的時(shí)間。步進(jìn)是范圍 10% 至90%。
|
|
20V
|
<300μS
|
<360μS
|
<1ms
|
|
6V
|
<150μS
|
<250μS
|
<1ms
|
|
200mV
|
<200μS
|
<250μS
|
<1ms
|
|
電流源
|
3A
|
<200μS
|
<280μS
|
<1.2ms
|
在短路條件下，達(dá)到距離*終值 0.1% 以內(nèi)（對(duì)于 3 A范圍，為 0.3 %）所需的時(shí)間。步進(jìn)是范圍的 10%至90%。6V 電壓量程， 105%滿量程鉗位設(shè)定
|
|
1.5A
|
<200μS
|
<280μS
|
<1.2ms
|
|
150mA
|
<200μS
|
<280μS
|
<1.2ms
|
|
15mA
|
<200μS
|
<280μS
|
<1.2ms
|
|
1.5mA
|
<200μS
|
<280μS
|
<1.2ms
|
|
150μA
|
<250uS
|
<300uS
|
<1.2ms
|
|
15μA
|
<250uS
|
<1.2mS
|
<2ms
|
|
1.5uA
|
<600uS
|
<1.2mS
|
<5mS
|
|
150nA
|
<600uS
|
<5mS
|
<12mS
|
1，輸出轉(zhuǎn)換速率：Fast,Normal,Slow。
2，F(xiàn)ast 模式在不同的量程或負(fù)載條件下輸出可能會(huì)出現(xiàn)較大過沖，過沖敏感設(shè)備建議用 Slow 模式。
采樣率及 NPLC 設(shè)置
|
配置方式
|
配置范圍
|
|
NPLC
|
0.00005PLC ~ 10PLC
|
|
Sampling Rate
|
5sps ~ 1Msps
|
測(cè)量精度降額（PLC<1）
誤差增加量程的百分比
|
PLC
|
量程
|
|
200mV
|
6V
|
20 至 200V
|
150nA 至 1.5uA
|
15uA
|
150uA 至 150mA
|
1.5A 至 3A
|
|
0.1
|
0.02%
|
0.01%
|
0.01%
|
0.02%
|
0.01%
|
0.01%
|
0.01
|
|
0.01
|
0.30%
|
0.03%
|
0.02%
|
0.20%
|
0.04%
|
0.02%
|
0.02%
|
|
0.001
|
3.20%
|
0.40%
|
0.10%
|
2.50%
|
0.40%
|
0.03%
|
0.03%
|
補(bǔ)充特征
|
傳感模式
|
2 線或 4 線（遠(yuǎn)程傳感）連接
|
|
*大傳感引線電阻
|
1 kΩ（額定精度）
|
|
2 線內(nèi)部線壓降
|
<60mV/A
|
|
遠(yuǎn)程傳感輸出端與傳感端*大電壓
|
2V
|
|
輸出連接器*大輸出電壓
|
>滿量程 105%（200V 量程>202V）
|
|
直流浮地電壓
|
±250 V DC
|
|
SWEEP 掃描
|
掃描間隔從 20uS 至 16S 可配置，單次掃描*大 64K 點(diǎn)
|
|
自動(dòng)量程
|
支持，過沖敏感設(shè)備建議切換量程前關(guān)閉輸出再做量程切換動(dòng)作
|
|
延時(shí)測(cè)量（SOURCE DELAY）
|
支持，建議用戶設(shè)置合適的SOURCE DELAY 以獲得更準(zhǔn)確的測(cè)量值
|
|
過溫保護(hù)
|
當(dāng)檢測(cè)到內(nèi)部溫度過高時(shí)，輸出關(guān)閉，待溫度回到 65 度以下會(huì)恢復(fù)操作使用
|
|
過壓保護(hù)（OVP）
|
當(dāng)輸出超出OVP 設(shè)定值時(shí)關(guān)閉輸出，設(shè)備重置后可進(jìn)一步操作，精度：±(1%Setting+500mV)
|
|
其他輸出異常保護(hù)
|
斷電重啟，可恢復(fù)操作或硬件損壞
|
通信端口
|
以太網(wǎng)
|
100BASE-T / 10BASE-T
|
|
USB
|
USB 2.0 HOST（前）
|
|
USB 2.0 DEVICE（后）
|
|
數(shù)字 I/O DB9
|
Pin5
|
地
|
|
優(yōu)良*大輸入電壓：5.25
|
Pin6
|
IO1，數(shù)字I/O，同步信號(hào)輸入口
|
|
優(yōu)良*小輸入 電壓：-0.25V
|
Pin7
|
IO2, 數(shù)字 I/O，同步信號(hào)輸出口
|
|
*小邏輯高電平：2.1V
|
|
*高邏輯低電平：0.7V，
|
|
*大邏輸出電流：2mA
|
|
*大吸電流：-50mA
|
環(huán)境指標(biāo)
|
環(huán)境
|
在室內(nèi)設(shè)施中使用
|
|
工作
|
0 °C 至 +50°C，30 % 至 70 % 相對(duì)濕度無(wú)冷凝
|
|
儲(chǔ)存
|
-30 °C 至 70 °C，10 % 至 90 % 相對(duì)濕度無(wú)冷凝
|
|
海拔
|
高度工作：0 m 至 2000 m，儲(chǔ)存：0 m 至 4600 m
|
|
電源
|
90 V 至 264 V，47 Hz 至 63 Hz，250 VA * 大 值
|
|
預(yù)熱
|
1 小 時(shí)
|
|
尺寸
|
450 × 212× 105mm(含腳墊、把手及旋扭)
|
|
重量
|
凈重 5.2 kg
|
前面板
|
顯示
|
5.0 寸 TFT 液晶屏，電容觸模，分辨率 800*480
|
|
固定功能鍵
|
Trigger,Home,Cancel，開機(jī)鍵，通道開關(guān)，旋轉(zhuǎn)按鈕
|
|
非固定功能鍵
|
LCD 映射功能鍵
|
|
接口
|
USB 主機(jī)接口，輸出接口，機(jī)殼地接口
|
后面板
電源線，USB 線，測(cè)試線（兩根），快速參考，U 盤（包括 PDF 手冊(cè)、快速 I/V 測(cè)量軟件和驅(qū)動(dòng)程序）。
|
產(chǎn)品型號(hào)
|
|
S3012H
|
單通道精密型電源/測(cè)量單元，脈沖源
|
